含氟工業(yè)廢氣處理設(shè)備
含氟工業(yè)廢氣處理設(shè)備
工業(yè)用的含氟廢氣一般是四氟化碳、三氟化氮、六氟化硫等標(biāo)準(zhǔn)混合氣，在工業(yè)加工的過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生***量的含酸性氣體的廢氣，下面簡(jiǎn)單講解一下關(guān)于含氟工業(yè)廢氣處理設(shè)備。
在對(duì)于生產(chǎn)芯片用的刻蝕劑、清洗劑時(shí)需要用到三氟化氮，隨著因***網(wǎng)、電路、液晶面板、光伏太陽(yáng)能、手機(jī)的迅速普及，使得芯片的使用率提高使得三氟化氮的使用量越來(lái)越***。
含氟工業(yè)廢氣處理設(shè)備可以采用直接吸收法和氟化氫銨熔融鹽電解法的工藝來(lái)進(jìn)行廢氣處理。
氟化氫銨熔融鹽電解法：
電解法工藝中會(huì)加入電解鋁，電解鋁生產(chǎn)的污染源冰晶石一氧化鋁熔體電解制鋁過(guò)程中,散發(fā)的有害氣體與粉塵主要有固態(tài)與氣態(tài)氟化物二者各占約50%左右。
直接吸收法：采用水、堿性溶液或某些鹽類(lèi)溶液來(lái)吸收含氟廢氣，設(shè)備在運(yùn)行過(guò)程中選擇配置的吸收劑還可以得到氟硅酸等副產(chǎn)品，***后以此來(lái)達(dá)到凈化或者回收的目的。
工業(yè)廢氣處理設(shè)備的設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便、體積小、易實(shí)現(xiàn)而且凈化過(guò)程可以回收各種氟化物，設(shè)備的凈化效率高。
